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該裝置主體結構包括制冷機系統、真空腔、防 輻射屏及樣品臺等,搭配柔性波紋管和減震墊可實 現樣品處微米級低振動,該恒溫器可配合精密位移 平臺進行整體結構三維空間上高精度、大量程的移 動,實現樣品不同位置測量的需求,定位精度最高 可達0.01mm。