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六自由度位移平臺
六自由度位移平臺可實現 X、Y、Z、α、β、Ψ運動維度調節，可帶動系統進行精密位置調整。該平 臺設計使其比串聯運動系統更加緊湊、更具剛性，動態范圍更大，無移動電纜：更穩定、摩擦更小。
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參數：
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運 動 維 度 ?：X、Y、Z、α、β、Ψ
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X、Y 行程：±10mm
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Z ???行程:?±10mm
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X、Y 運動精度：5μm
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?Z????運動精度：3μm
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α（繞X轉動）角度：±5°
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β（繞Y轉動）角度：±5°
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Ψ（繞Y轉動）角度：±10°
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α、β轉角精度：0.01°
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Ψ ???轉角精度：0.01°
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載重：平臺水平安裝可承重 15kg?、平臺豎直安裝可承重 10kg
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尺寸（直徑*高度）：390mm*310mm