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當前位置:首頁>產品展示>X射線光學實驗系統

EUV鏡/軟X射線鏡

我們提供各種高品質的EUV(極紫外光刻)/ X射線聚焦鏡產品。

鏡片種類



· 鏡面形狀:平面,凸面,凹面,球面,圓柱面等

·?適用于各種波長的多層鏡

· 各種單層薄膜(金屬,碳化物,氧化物等)鏡面

· 大型多層膜鏡(最大可達φ300mm)

· 高耐熱多層鏡

※ 我們也可提供硬X射線相關產品。

產品實例

Mo / Si多層鏡



· 這是一款可在13至30nm波長下使用的多層膜鏡;
·?它能夠反射,濃縮和分離EUV光, 多用于EUVL,X射線望遠鏡,X射線顯微鏡,等離子體診斷,高次諧波利用實驗;
·?我們還制造耐熱多層鏡(具有阻擋層的多層膜),其間插入有中間層。
? (H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p. 169, Vol. 4, 1996)

X射線鏡的示例性截面結構和X射線反射的結構視圖


X射線鏡的示例性截面結構和X射線反射的結構視圖




?反射實際測量值(直接入射角:2度)



反射實際測量值(直接入射角:2度)

各種Mo / Si多層鏡:


各種Mo / Si多層鏡




各種Mo / Si多層鏡




φ100毫米凹面鏡:


φ100毫米凹面鏡



φ12英寸平面鏡:


φ12英寸平面鏡



用于Schwarzschild光學系統的凹面鏡:


用于Schwarzschild光學系統的凹面鏡,凸面鏡



分裂凹面鏡:


分裂凹面鏡






EUV鏡


EUV寬帶鏡和EUV窄帶鏡




· EUV寬帶反射鏡是一種多層反射鏡,可在比通常的多層薄膜更寬的波長范圍內反射,并用于多個階上的亮線反射。
·?EUV窄帶鏡是具有比通常的多層膜窄的波長半值寬度的多層鏡,并且它可以用于光譜測量等以選擇特定的發射線。



反射實際測量值(入射角:垂直入射2度):





圖例為EUV寬帶球形多層反射器。 一個Mo / Si寬帶多層膜在φ100mm的Zerodure基板上形成的圖像:








EUV分級鏡



· 這是一款多層膜鏡,它具有可精確控制的周期長度,該周期長度對應于在基板表面內變化的入射角。 可以在整個基板表面上實現高反射率。

·?我們將在直徑大于300毫米的彎曲基板上形成分級鏡。

·?下面的圖分別是形成在凹面鏡上的EUV梯度Mo / Si多層膜的反射率評估的實例,以及入射角從直接入射0°變化到直入入射角10°圖例??梢钥闯?, 電路板設計使得在入射角處測量的反射峰非常均勻。







分級鏡像結構的示例。 紅色箭頭代表光線。在基板中心附近,入射角是0度的直接入射角相應的多層膜周期長度短。隨著直接入射角朝向基板邊緣增加,多層膜周期長度變長:










掠入射鏡/全反射鏡



· 這款產品是用于EUV區域中的傾斜入射光學系統的全反射鏡。
·?我們將在各種基材(平面,凸面,凹面,球面,非球面,圓柱面等)上形成金屬,碳化物和氧化物。

反射實際測量實例(Ru單層涂層,入射波長13.5 nm):





反射實際測量實例(SiC單層涂層,入射角10度):








用于30nm波長的SiC / Mg多層鏡




· 這款產品是用于波長約30nm的高反射多層膜。
? (H. Takenaka et. Al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147, (2005) 1043-1045)
·??它還可用于EUV光條件下的各種應用(空間觀察,使用高次諧波的各種實驗)。

反射實際測量實例(入射角:垂直入射2度):





φ1英寸凹面鏡:








用于6nm波長的Cr / C&CoCr / C多層鏡



·?這是一款在6nm波長附近使用的多層膜鏡。
·?它被開發為用于會聚光學系統的多層鏡,多用于顯微光電子能譜。

? (H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p. 255, vol. 104, 2003)


反射實際測量實例(入射角:垂直入射2度):








其他實例


若您需要制作以下其他類型的各種多層鏡和全反射鏡,也請隨時與我們聯系。


多層薄膜范例 Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B4C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B4C, Pt/C, Ru/B4C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B4C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC等.
單層鏡范例 Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y2O3,等

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