EUV濾光片

由于它是一款自立式EUV濾光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，還有一個帶有抗氧化膜的過濾器。 由于耐氧化性優異，因此與通常的過濾器相比，透過率的劣化小。

主要用途

·?將高次諧波從基波中分離出來；

·?去除不需要的波長，如同步輻射，等離子體X射線等；

·?預防等離子體X射線中的碎片；

·?真空窗，差壓窗口

對應波長區

·?可以對應于每個極紫外線和軟X射線波長區域。

·?近波長13.5nm（Zr過濾器）

·?近波長29.6nm（鋁過濾器）

·?近波長61.5 nm（Sn濾光片）

支撐薄膜

·?它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成；

·?聚合物膜支撐過濾器；

·?網格支撐濾器；

·?SiN膜支撐濾器；

? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ?? ? ?? ? ? ? ?聚合物膜支撐過濾器 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?網格支撐過濾器 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?膜支撐過濾器

其他種類

各種材料透射率的計算值（膜厚度：100nm）：

我們還設有層壓膜過濾器，硬X射線過濾器等產品。